在醫療領域應用的等離子體滅菌技術於20世紀80年代始於美國，Menashi等首先提出鹵素類氣體等（děng）離子體具有很強的殺菌作用，可用於非耐熱醫療（liáo）器械的快速滅菌，低溫等離子體滅菌技術1987年獲得（dé）。
美國強生公司研製的Starrad 100S過氧化氫等（děng）離子體滅（miè）菌器，於1997年（nián）經FDA批準上市。現已在歐美、日本等發達國家醫療機構微創手術中廣泛使用。
2004年開始在我國推廣宣傳，已有幾十家大型醫療單位開始使（shǐ）用。由此也使得等離子體低溫滅菌（jun1）技術在我國醫療領（lǐng）域的使（shǐ）用得到廣泛的認同。